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技術(shù)參數(shù) 型號 |
CH-8-D 雙面探針臺 |
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臺體 |
chuck尺寸 |
8英寸 |
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水平旋轉(zhuǎn) |
卡盤可以360度旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于0.1度，帶有鎖定旋鈕 |
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XY移動行程 |
8英寸*8英寸 |
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XY移動精度 |
10um/1um可選 |
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樣品固定 |
樣品夾定，尺寸可調(diào)；真空吸附固定，卡盤多圈吸附環(huán)可獨立控制 |
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雙面點針平臺 |
氣動升降平臺升起為雙平臺，落下可做單平臺使用 |
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平臺針座數(shù)量 |
單平臺最多放置8個CB-200針座 |
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卡盤結(jié)構(gòu) |
普通/高溫/帶背電極等結(jié)構(gòu)卡可選擇 |
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溫控系統(tǒng) |
溫度范圍 |
室溫~300℃ (400℃,500℃可選） |
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溫控精度 |
0.1℃ |
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溫控穩(wěn)定性 |
±1℃ |
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溫控傳感器 |
100 Ω 鉑電阻傳感器 |
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正面光學(xué)系統(tǒng)
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CCD |
200W/500W/1200W像素可選（正反面） |
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顯微鏡類型 |
單筒/體視/金相顯微鏡可選 |
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放大倍率 |
16X-100X/20X-2000X |
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顯微鏡調(diào)節(jié) |
水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)X-Y移動2*2英寸，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
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背面光學(xué)系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
L型單筒顯微鏡 |
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連續(xù)變倍比 |
6.3:1 |
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放大倍率范圍 |
0.75 – 5X |
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放大倍率 |
315X（計算公式：變焦*CCD*顯示器） |
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顯微鏡調(diào)節(jié) |
萬向移動 |
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光源 |
同軸光源 |
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技術(shù)參數(shù) 型號 |
臺體配件技術(shù)參數(shù) |
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探針座 |
X-Y-Z移動行程 |
12*12*12mm |
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移動精度 |
10/2/0.7/0.5/0.35um可選 |
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固定方式 |
磁力吸附/真空吸附可選 |
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探針夾具 |
線纜 |
同軸線/三軸線可選 |
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漏電精度 |
10pA/100fA |
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探針固定方式 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子等可選 |
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探針
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材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅可選 |
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針尖直徑 |
0.2/1/2/5/10/20/50/100um可選 |
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探針可選配件 |
屏蔽箱 |
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高壓測試配件 |
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光學(xué)防震桌 |
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射頻測試配件 |
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鍍金卡盤 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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探針卡夾具 |
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其他 |
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