CS-4 | 4" 精密I-V測試測量探針臺系統
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特點/應用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等
◆ 最大可用于6英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動
◆ 可放置于手套箱內使用
◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實惠 |
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臺體規格
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尺寸 |
4英寸/6英寸 |
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水平旋轉 |
可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
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X-Y移動行程 |
4英寸*4英寸 |
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X-Y移動精度 |
10微米 |
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樣品臺Z軸調節 |
可升降10mm |
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樣品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
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針座平臺 |
U型針座平臺，最多可放置6個探針座 |
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背電極測試 |
樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
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外形尺寸 |
400mm長*400mm寬*500mm高 |
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重量 |
約25千克 |
光學系統
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X |
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移動行程 |
水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm |
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光源 |
外置LED無極調節亮度環形光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針座
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X-Y-Z移動行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移動精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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線纜 |
同軸線/三軸線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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針尖直徑 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
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針尖材質 |
鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
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加熱臺 |
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顯示器 |
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轉接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件
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PS:探針臺可根據客戶要求定制。
規格及設計如有更改，恕不另行通知。
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