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帶你了解CM-4簡易探針臺 CM-4簡易探針臺是一款功能齊全、操作簡便的測試設備，適用于多種測試需求，如I-V/C-V、PIV測試以及光電測試等。該設備特別適合對6英寸以內的樣品進行測試。 其主要特點包括： 同軸絲杠傳動結構，線性移動，使得探針臺在X-Y方向上移動精度高，可達10微米。同時，臺體規格可選擇4英寸或6英寸，滿足不同測試需求。 樣品臺Z軸調節可升降10mm，滿足不同高度的樣品測試需求。 樣品固定方式采用真空吸附，確保樣品穩固。 可放置于手套箱內使用，方便進行各種實驗操作。 形狀輕巧，操作方便，價格實惠。 探針夾具安裝靈活，可以根據需要進行上下調節位置。同時，匹配探針臺和防震桌設計，使測試過程更加穩定可靠。 配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。 可與顯微鏡配合使用，提高測試精度。 總的來說，CM-4簡易探

探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？ 通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型： 1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件？ 2、探針臺機械精度要求多高？ 3、點測樣品的尺寸規格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內部的metal？ 4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍） 5、最多需要幾根探針同時去點測？ 6、會測試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具） 7、漏電精度需要達到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測到的電流的量級） 8、是否會用到探針卡？ 9、光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？ 10、顯微

直流輝光放電中等離子體診斷實驗操作指導手冊